| 類別 | 姓名 | 任職機關 | 單位 |
| 總主持人 | 胡正明 | 國立陽明交通大學 | 國際半導體產業學院 |
| 共同主持人 | 孫元成 | 國立陽明交通大學 | 產學創新研究學院 |
| 共同主持人 (兼分項計畫主持人) | 張翼 | 國立陽明交通大學 | 國際半導體產業學院 |
| 共同主持人 (兼分項計畫主持人) | 侯拓宏 | 國立陽明交通大學 | 電子工程學系 |
| 共同主持人 | 沈昌宏 | 國家實驗研究院 | 台灣半導體研究中心 |
| 分項計畫主持人 | 陳冠能 | 國立陽明交通大學 | 電子工程學系 |
| 分項計畫主持人 | 林炯源 | 國立陽明交通大學 | 電子工程學系 |
| 分項計畫主持人 | 劉致為 | 國立台灣大學 | 電子工程研究所 |
| 協同研究人員 | 劉柏村 | 國立陽明交通大學 | 光電工程學系 |
| 協同研究人員 | 蘇彬 | 國立陽明交通大學 | 電子工程學系 |
| 協同研究人員 | 黃柏蒼 | 國立陽明交通大學 | 國際半導體產業學院 |
| 協同研究人員 | 楊智超 | 國家實驗研究院 | 台灣半導體研究中心 |
| 協同研究人員 | 吳添立 | 國立陽明交通大學 | 國際半導體產業學院 |
| 協同研究人員 | 陳煜璋 | 國立陽明交通大學 | 電子物理學系 |
| 協同研究人員 | 李耀仁 | 國立陽明交通大學 | 前瞻半導體研究所 |
| 協同研究人員 | 許恒通 | 國立陽明交通大學 | 國際半導體產業學院 |
| 協同研究人員 | 黃國威 | 國家實驗研究院 | 台灣半導體研究中心 |
| 協同研究人員 | 關肇正 | 中央研究院 | 應用科學研究中心 |
| 協同研究人員 | 連德軒 | 國立陽明交通大學 | 電子工程學系 |
| 協同研究人員 | 林岳欽 | 國立陽明交通大學 | 電子與資訊研究中心 |
| 協同研究人員 | 鍾采甫 | 國立陽明交通大學 | 材料科學與工程學系 |
| 協同研究人員 | 梁耕僑 | 國立陽明交通大學 | 產學創新研究學院 |
